晶瑞電材：已(yǐ)啓動ArF（193）高端光刻膠(jiao)研發，KrF光刻膠完成(chéng)中試

　　12月13日，晶瑞電(diàn)材在特定對象調(diào)研活動中表示，目(mù)前ArF(193)高端光刻膠🥰研(yan)發工作已正式啓(qi)動，已完成光刻機(ji)、勻膠顯影🈚機、掃描(miáo)電鏡、台階儀等設(shè)備購置，其中ASML1900Gi型光(guāng)刻機設備正在積(ji)極調試中。同時公(gong)司正在積極開展(zhǎn)對上遊材料樹✉️脂(zhi)單體及配方的研(yan)⭐究。

 

　　公司高端KrF(248)光刻(ke)膠已完成中試，建(jian)成了中試示範線(xian)，已✏️進入客♍戶測試(shi)階段。近期已購得(dé)KrF光刻機一台，可🐉用(yong)于KrF光刻💁膠的曝光(guāng)測試，同時公司KrF光(guang)刻膠量産化㊙️生産(chǎn)線✏️正在積極建設(shè)中。

 

　　據晶瑞電材表(biǎo)示，此前，公司已經(jīng)購得用于負膠、g 線(xian)、i線、ArF 等 4 台光🍓刻機，再(zai)加之此次購得的(de)KrF光刻機，公司已經(jīng)到位5台光刻機。

 

來(lai)源：晶瑞電材官網(wang)

 

　　此外據晶瑞電材(cai)透露，晶瑞(湖北)微(wei)電子材料項目一(yī)期☂️目前正在設備(bèi)安裝調試階段。

 

　　據(ju)悉，2025年12月，晶瑞電材(cái)(原晶瑞股份)發布(bu)公告稱，拟在湖北(bei)省潛江市投資建(jiàn)設晶瑞(湖北)微電(diàn)子材料項目，生✨産(chan)光刻膠及其相關(guān)🎯配套的功能性材(cái)料、電子級雙氧水(shuǐ)、電子🔴級氨水等半(ban)導㊙️體及面闆顯示(shì)用電🎯子材料等，項(xiang)目計劃總投資約(yue)爲人民币15.2億元。

 

　　晶(jīng)瑞電材在該調研(yán)活動中還表示，受(shòu)益于我國半🐆導體(tǐ)材料行業國産替(tì)代進程提速，下遊(you)芯片廠商需求增(zeng)長，當前公司🏃‍♂️主導(dao)産品半導體級光(guāng)刻膠及配套材料(liao)、超淨高純試👌劑、锂(li)電池材料等産銷(xiao)兩旺。

 

　　未來随着公(gong)司 KrF 光刻膠測試完(wán)成并逐步量産、ArF 光(guāng)刻膠研發成功并(bìng)最終量産，以及公(gong)司南通、陝西、四川(chuan)等基🐅地新💔增的高(gao)純硫酸🆚、NMP、光刻膠等(deng)産品産能的逐步(bu)釋放👌，有望成爲公(gōng)司新的利潤增長(zhǎng)點。