勢(shi)銀(TrendBank)研究統計分(fen)析,2021年國内半導(dao)體光刻膠市場(chǎng)規模将達到29億(yì)人民币。

國内半(ban)導體光刻膠布(bù)局及生産企業(yè)總計約有14家,真(zhēn)正實現了批量(liàng)供應的企業不(bu)足7家,且主要集(ji)中在紫外負膠(jiao)/正膠、i/g線光刻膠(jiāo),如:北京科華、蘇(sū)州瑞紅、濰坊星(xing)泰克、艾森半導(dao)體、江蘇漢拓等(děng)。而高端的KrF光刻(kè)膠國産化率不(bú)足1%,能夠實現産(chan)品供應的有:北(bei)京科華、福建泓(hóng)光半導體、江蘇(su)漢拓、上海新陽(yáng)等。在技術附加(jiā)值更高的ArF光刻(ke)膠産品上,目前(qián)國内還未能真(zhēn)正實現規模化(hua)量産訂單供應(ying),就數甯波南大(dà)光電、博康旗下(xià)漢拓光學以及(ji)廣州微納光刻(ke)材料在ArF光刻膠(jiāo)産品上有實質(zhi)性的技術突破(pò)。

來源:勢銀(TrendBank)
窺探(tan)中國大陸規模(mó)最大的晶圓代(dai)工廠中芯國際(jì)各👄技術節點營(yíng)收結構,在2020年年(nián)底被美國打壓(yā),四季👨❤️👨度45nm以下制(zhì)程營收發生嚴(yán)重壓縮,但在今(jīn)年上半年公司(sī)整體運營開始(shi)逐步轉好,營收(shou)增長了33%,28nm/14nm的先進(jìn)制程占比更是(shi)顯著提升,這也(ye)推動了上遊先(xiān)進光刻膠的需(xu)求,尤其是ArF光刻(kè)⭕膠的國🔱産🔅替代(dài)。

來源:SMIC
目前國内(nèi)芯片制造企業(yè)消耗的ArF光刻膠(jiao)基本是采購國(guo)外供應商,例如(rú):JSR、TOK、信越化學等。我(wǒ)國本土光刻膠(jiāo)🧡企業在ArF光刻膠(jiāo)産品上還是和(hé)國際老牌供應(yīng)商之🐆間存在很(hěn)大的光刻性能(neng)差距,如:折射率(lǜ)、光敏度、分🌍辨率(lü)、線邊緣粗糙度(du)等等參數。經勢(shì)銀(TrendBank)調🙇♀️研統計,我(wǒ)國正在真正逐(zhú)步推進ArF光刻膠(jiao)項目且有技術(shù)實力的廠商僅(jin)有如下6家,推測(cè)這幾家也将是(shi)未來2-3年内逐一(yī)打入本土芯片(pian)制造商供應鏈(lian)的最有利競争(zhēng)者:

甯波南大光(guang)電
公司是ArF光刻(kè)膠産品開發與(yǔ)産業化項目的(de)實施主體單位(wei),目前ArF幹式光刻(kè)膠已通過50nm閃存(cun)平台認證和55nm邏(luo)輯電路平台⛷️認(ren)證。公司正在大(da)力推進ArF光刻膠(jiao)(ArF幹式分辨率90-45nm,濕(shi)式分辨🔴率65-14nm)産能(néng)建設💔,規劃年産(chan)能達到25噸(幹式(shì)5噸和浸沒式20噸(dūn))。
上海新陽
公司(sī)是KrF厚膜膠與ArF光(guāng)刻膠開發與産(chǎn)業化項目的實(shí)施🌍主體✔️單位,已(yi)擁有兩台ArF光刻(kè)機,可分别用于(yú)幹法和濕法光(guang)🔴刻膠開發。目前(qián)KrF厚膜膠(分辨率(lü)≥0.15μm,膜厚0.3-15μm)已通過下(xia)遊客戶驗證,可(kě)應用于3D存儲器(qi)件工藝/PAD/Implant,預計2021年(nian)年底會有訂單(dan)批量供應出💰貨(huò)。其ArF光刻膠尚處(chù)于客戶認證當(dang)中,可應用于先(xiān)進邏輯節點的(de)Line/Contact/Hole/Trench,按進度預計在(zài)2021年年底會💋取得(dé)實質性的突破(pò)進展。

北京科華(huá)
公司是國内本(ben)土KrF光刻膠主力(lì)供應商,目前已(yǐ)經打入國内☀️多(duo)家芯片制造廠(chǎng)供應鏈(如長江(jiang)存儲、中芯🧑🏾🤝🧑🏼國際(jì)、廣州粵芯、華虹(hóng)半導體),2021年上半(bàn)年KrF光刻膠同比(bǐ)增長94.51%,産品可應(yīng)用于Poly/AA/Metal/Implant/Contact Hole等工藝,其(qí)ArF光刻膠項目正(zhèng)在按計劃😄推進(jin)。
晶瑞股份
公司(si)是老牌半導體(tǐ)光刻膠供應商(shāng)之一,現已擁有(you)♋一台ArF幹式光刻(ke)機。其KrF光刻膠樣(yàng)品正在下遊客(kè)戶驗證,分辨率(lü)可達0.15-0.25μm,可應用于(yu)Hole/Line/Space等層工藝,其ArF幹(gan)式光刻膠正處(chù)在開發階段,分(fen)辨率可🔴達90-65nm。
江蘇(sū)漢拓
公司是徐(xu)州博康集團控(kòng)股子公司,具備(bèi)徐州博康成熟(shú)的KrF、ArF光刻膠單體(ti)開發技術背景(jǐng),目前已開發KrF正(zhèng)膠和負膠産品(pǐn),以負膠(分辨率(lǜ)0.25μm,膜厚0.6μm)和厚膜膠(jiāo)(分辨率1μm,膜厚3-5μm)爲(wei)重點,可應用于(yu)Lift-off工藝、厚鋁刻蝕(shi)、PAD工藝;ArF系列光刻(kè)膠正在以與客(kè)戶合作開發模(mó)式推進,開發的(de)ArF光刻膠樣品分(fen)别達到了N90、N65、N55的應(yīng)用需求,已有一(yi)款ArF光刻膠産品(pin)小批量供應某(mǒu)存儲芯片制造(zao)🔅商,全系列産品(pin)還需進一步在(zài)客戶端評估驗(yàn)證。
廣州微納光(guāng)刻材料
公司專(zhuān)注開發ArF光刻膠(jiāo),目前主要開發(fā)了90nm和55nm節點的ArF光(guāng)刻膠樣品,90nm節點(diǎn)的光刻膠有很(hěn)好的線寬粗糙(cao)度,55nm節點的高寬(kuan)比可達3.2:1,同複旦(dàn)大學微電子學(xué)院鄧海教授課(ke)題組有深度合(hé)作,其以OEM形式進(jin)行代工生産,和(he)廣東/嘉興兩家(jiā)化工生産企業(ye)簽訂了代💘工協(xie)議。
勢銀(TrendBank)2021年推出(chu)最新年度報告(gao)《2021年光刻膠産業(ye)市場分析報告(gao)》,本市場研究報(bào)告側重于國内(nèi)半導體/顯示光(guāng)刻膠市場/供🧑🏽🤝🧑🏻應(ying)🙇♀️鏈,報告具體目(mu)錄如下:
第1章 光(guāng)刻膠概念及其(qí)行業發展概述(shù)
1.1 光刻膠概念深(shen)度剖析
1.1.1 光刻膠(jiao)應用場景分析(xī)
1.1.2 光刻膠的産品(pin)及應用屬性分(fen)析
1.1.3 先進光刻材(cai)料熱點剖析
1.2 中(zhong)國光刻膠行業(yè)發展現狀
1.2.1 國内(nèi)光刻膠整體市(shi)場及國産化情(qing)況
1.2.2 國内光刻膠(jiāo)産業鏈瓶頸剖(pōu)析
1.2.3 國内各地利(li)好政策及項目(mù)布局剖析
第2章(zhāng) 中國光刻膠專(zhuan)用化學品行業(ye)競争環境分析(xī)
2.1 全球光刻膠專(zhuān)用化學品主要(yào)企業格局現狀(zhuàng)
2.1.1 上遊主要企業(yè)所屬地分布情(qíng)況
2.1.2 主要企業化(hua)學品經營範疇(chóu)
2.2 國内光刻膠專(zhuan)用化學品市場(chǎng)分析
2.3 國内光刻(ke)膠專用化學品(pǐn)主要企業剖析(xī)
2.3.1 強力新材
2.3.2 聖泉(quán)集團
2.3.3 徐州博康(kang)
第3章 中國光刻(kè)膠行業競争環(huán)境分析
3.1 國内光(guāng)刻膠企業地域(yù)分布深度剖析(xi)
3.2 國内光刻膠企(qi)業的産品/産能(neng)情況統計
3.3 國内(nei)光刻膠市場深(shen)度剖析
3.3.1 國内半(ban)導體及顯示光(guang)刻膠市場格局(ju)分析
3.3.2 國内半導(dǎo)體及顯示光刻(ke)膠市場規模分(fèn)析
3.4 國内光刻膠(jiāo)産業配套檢測(cè)設備剖析
3.4.1 配套(tao)檢測設備資金(jīn)投入占比剖析(xī)
3.4.2 光刻膠關鍵設(shè)備國産化分析(xī)
第4章 全球光刻(ke)膠行業主要企(qǐ)業發展情況分(fèn)析
4.1 國外光刻膠(jiao)産業主要企業(ye)經營情況分析(xi)
4.1.1 德國默克
4.1.2 日本(ben)TOK
4.1.3 日本JSR
4.1.4 美國陶氏(shi)化學
4.2 重點企業(ye)發展情況剖析(xi)
4.2.1 南大光電
4.2.2 晶瑞(ruì)股份
4.2.3 彤程新材(cái)
4.2.4 上海新陽
4.2.5 雅克(kè)科技
第5章 中國(guo)光刻膠專利及(jí)光刻技術分析(xi)
5.1 國内主要企業(ye)專利申請情況(kuàng)剖析
5.2 國内光刻(kè)膠專利深度剖(pōu)析
5.2.1 國内光刻膠(jiao)專利結構分析(xī)
5.2.2 國内外專利趨(qu)勢對比分析
5.3 先(xian)進光刻技術路(lu)線對比分析
第(dì)6章 中國光刻膠(jiao)下遊需求市場(chang)情況分析
6.1 下遊(yóu)應用結構剖析(xi)
6.2 終端市場格局(ju)分析
第7章中國(guo)光刻膠産業市(shì)場發展趨勢預(yu)測(2021-2025)
第8章中國光(guāng)刻膠産業投資(zi)機會及風險分(fen)析
8.1 産業投資機(jī)會
8.2 投資風險分(fen)析
轉載自:勢銀(yín)膜鏈微信公衆(zhong)号。